磁性聯(lián)軸器多用于在高真空、高潔凈度、有毒、腐蝕性，或其它惡劣環(huán)境中將動力從主動軸傳遞給從動軸。由于采用了隔離密封套的形式，化動態(tài)密封為靜態(tài)密封，從而可實現(xiàn)零泄露。它的一個重要應用是作為真空晶圓輸送機器人動態(tài)密封技術的核心組件，因此，倍受半導體主流鏈機設備廠商的關注。磁性聯(lián)軸器的優(yōu)化設計，直接影響真空機器人的傳動性能。
磁性聯(lián)軸器由內、外軛鐵和設置其上的瓦形磁體組成的內外磁轉子以及內外磁轉子間的氣隙中設置的隔離套組成。磁力泵由電動機驅動外磁轉子，外磁轉子通過磁力作用帶動與葉輪一體的內磁轉子旋轉，內外磁轉子之間有隔離套隔開，從而實現(xiàn)了液體無泄漏輸送，也就是說能量傳遞是通過磁性聯(lián)軸器的磁場無接觸實現(xiàn)的。

關鍵詞：磁性聯(lián)軸器